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半導體行業(yè)超純水

發(fā)布時間:2023-11-13 瀏覽次數(shù):1935

       半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術分為五個行業(yè)標準,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。

       半導體行業(yè)中的超純水,又名UP水,主要是半導體原材料生產(chǎn)加工、檢測和半導體器件的制備用水。電?元器件對超純水使?水質(zhì)要求高。市場環(huán)境變化使得元器件尺寸縮小與精細度上升,使得超純水水質(zhì)與水量的技術指標不斷提升。超純水制備主要包括以下三個階段,即初步吸附過濾階段、反滲透凈化階段和樹脂離子交換階段。其中,離子交換是將水中的正離子與離子交換樹脂中的H+離?交換,水中的負離子與離子交換樹脂中的OH-離子交換,從而達到純化水的目的。

       我公司半導體行業(yè)用超純水出水水質(zhì)完全符合美國ASTM純水水質(zhì)標準、我國電子工業(yè)部電子級水質(zhì)技術標準(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準)、我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標準、美國半導體工業(yè)用純水指標、日本集成電路水質(zhì)標準、國內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標準。


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電子工業(yè)用超純水工藝大致分成以下3種:

  1、采用離子交換樹脂制備電子工業(yè)超純水的傳統(tǒng)水處理方式:

            原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點

  2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業(yè)超純水的方式:

           原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點

  3、采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配制備電子工業(yè)超純水的的方式這是一種制取超純水的新工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟,發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に嚕?/span>

           原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點


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我司半導體工業(yè)超純水設備特點:

  電子工業(yè)超純水設備通常由多介質(zhì)過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構成預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構成主要設備系統(tǒng)。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人值守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使該設備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。



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